TPM5 సిరీస్ పవర్ కంట్రోలర్ మాడ్యూల్ డిజైన్ ఆలోచనను స్వీకరిస్తుంది మరియు లోపల 6 సర్క్యూట్ల వరకు అనుసంధానిస్తుంది.ఉత్పత్తులు ప్రధానంగా వ్యాప్తి ఫర్నేసులు, PECVD, ఎపిటాక్సీ ఫర్నేసులు మొదలైన వాటిలో ఉపయోగించబడతాయి.