నిక్షేపణ
అంతర్దృష్టులను పొందండి మరియు అభివృద్ధి ప్రక్రియను వేగవంతం చేయండి.
అడ్వాన్స్‌డ్ ఎనర్జీ కీలకమైన సన్నని ఫిల్మ్ నిక్షేపణ అప్లికేషన్లు మరియు పరికర జ్యామితిలకు విద్యుత్ సరఫరా మరియు నియంత్రణ పరిష్కారాలను అందిస్తుంది. వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ సవాళ్లను పరిష్కరించడానికి, మా ప్రెసిషన్ పవర్ కన్వర్షన్ సొల్యూషన్‌లు పవర్ ఖచ్చితత్వం, ఖచ్చితత్వం, వేగం మరియు ప్రక్రియ పునరావృతతను ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి మిమ్మల్ని అనుమతిస్తాయి.
మేము విస్తృత శ్రేణి RF ఫ్రీక్వెన్సీలు, DC పవర్ సిస్టమ్‌లు, అనుకూలీకరించిన పవర్ అవుట్‌పుట్ స్థాయిలు, మ్యాచింగ్ టెక్నాలజీలు మరియు ఫైబర్ ఆప్టిక్ ఉష్ణోగ్రత పర్యవేక్షణ పరిష్కారాలను అందిస్తున్నాము, ఇవి ప్రాసెస్ ప్లాస్మాను నిజంగా బాగా నియంత్రించడానికి మిమ్మల్ని అనుమతిస్తాయి. ప్రాసెస్ అంతర్దృష్టిని అందించడానికి మరియు అభివృద్ధి ప్రక్రియను వేగవంతం చేయడానికి మేము ఫాస్ట్ DAQ™ మరియు మా డేటా సముపార్జన మరియు యాక్సెసిబిలిటీ సూట్‌ను కూడా ఏకీకృతం చేస్తాము.
మీ అవసరాలకు సరిపోయే పరిష్కారాన్ని కనుగొనడానికి మా సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియల గురించి మరింత తెలుసుకోండి.
మీ సవాలు
ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ కొలతలు నమూనా చేయడానికి ఉపయోగించే ఫిల్మ్‌ల నుండి వాహక మరియు ఇన్సులేటివ్ ఫిల్మ్‌లు (విద్యుత్ నిర్మాణాలు), మెటల్ ఫిల్మ్‌లు (ఇంటర్ కనెక్షన్) వరకు, మీ నిక్షేపణ ప్రక్రియలకు అణు-స్థాయి నియంత్రణ అవసరం - ప్రతి ఫీచర్‌కు మాత్రమే కాకుండా మొత్తం వేఫర్ అంతటా.
నిర్మాణం కాకుండా, మీరు డిపాజిట్ చేసిన ఫిల్మ్‌లు అధిక నాణ్యతతో ఉండాలి. అవి కావలసిన గ్రెయిన్ స్ట్రక్చర్, ఏకరూపత మరియు కన్ఫార్మల్ మందాన్ని కలిగి ఉండాలి మరియు శూన్యత లేకుండా ఉండాలి - మరియు ఇది అవసరమైన యాంత్రిక ఒత్తిళ్లు (కంప్రెసివ్ మరియు తన్యత) మరియు విద్యుత్ లక్షణాలను అందించడంతో పాటు.
సంక్లిష్టత పెరుగుతూనే ఉంది. లితోగ్రఫీ పరిమితులను (సబ్-1X ఎన్ఎమ్ నోడ్స్) పరిష్కరించడానికి, స్వీయ-సమలేఖన డబుల్ మరియు క్వాడ్రపుల్ నమూనా పద్ధతులకు ప్రతి వేఫర్‌పై నమూనాను ఉత్పత్తి చేయడానికి మరియు పునరుత్పత్తి చేయడానికి మీ నిక్షేపణ ప్రక్రియ అవసరం.
మా పరిష్కారం
మీరు అత్యంత కీలకమైన నిక్షేపణ అప్లికేషన్లు మరియు పరికర జ్యామితిని అమలు చేసినప్పుడు, మీకు నమ్మకమైన మార్కెట్ నాయకుడు అవసరం.
అడ్వాన్స్‌డ్ ఎనర్జీ యొక్క RF పవర్ డెలివరీ మరియు హై-స్పీడ్ మ్యాచింగ్ టెక్నాలజీ అన్ని అధునాతన PECVD మరియు PEALD డిపాజిషన్ ప్రక్రియలకు అవసరమైన పవర్ ఖచ్చితత్వం, ఖచ్చితత్వం, వేగం మరియు ప్రాసెస్ రిపీటబిలిటీని అనుకూలీకరించడానికి మరియు ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి మిమ్మల్ని అనుమతిస్తుంది.
మీ కాన్ఫిగర్ చేయగల ఆర్క్ ప్రతిస్పందన, శక్తి ఖచ్చితత్వం, వేగం మరియు అవసరమైన PVD (స్పట్టరింగ్) మరియు ECD నిక్షేపణ ప్రక్రియలను చక్కగా ట్యూన్ చేయడానికి మా DC జనరేటర్ సాంకేతికతను ఉపయోగించండి.
ప్రయోజనాలు
● మెరుగైన ప్లాస్మా స్థిరత్వం మరియు ప్రక్రియ పునరావృత సామర్థ్యం దిగుబడిని పెంచుతుంది
● పూర్తి డిజిటల్ నియంత్రణతో ఖచ్చితమైన RF మరియు DC డెలివరీ ప్రక్రియ సామర్థ్యాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి సహాయపడుతుంది.
● ప్లాస్మా మార్పులు మరియు ఆర్క్ నిర్వహణకు వేగవంతమైన ప్రతిస్పందన
● అనుకూల ఫ్రీక్వెన్సీ ట్యూనింగ్‌తో బహుళ-స్థాయి పల్సింగ్ ఎట్చ్ రేట్ సెలెక్టివిటీని మెరుగుపరుస్తుంది.
● గరిష్ట అప్‌టైమ్ మరియు ఉత్పత్తి పనితీరును నిర్ధారించడానికి గ్లోబల్ మద్దతు అందుబాటులో ఉంది.